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通快Trump霍廷格射頻維修TruPlasma DC3030 高頻電源修理快

發(fā)布者:變頻器維修部    來源:上海仰光電子工程部     發(fā)布時間:2021-5-20

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  通快霍廷各射頻電源維修常見故障如下:

供電電源的噪聲干擾
射頻電路對于電源噪聲相當(dāng)敏感,尤其是對毛刺電壓和其他高頻諧波。微控制器會在每個內(nèi)部時鐘周期內(nèi)短時間突然吸入大部分電流,這是由于現(xiàn)代微控制器都采用CMOS工藝制造。

因此,假設(shè)一個微控制器以lMHz的內(nèi)部時鐘頻率運行,它將以此頻率從電源提取電流。

如果不采取合適的電源去耦,必將引起電源線上的電壓毛刺。如果這些電壓毛刺到達電路RF部分的電源引腳,嚴(yán)重時可能導(dǎo)致工作失效。

不合理的地線
如果RF電路的地線處理不當(dāng),可能產(chǎn)生一些奇怪的現(xiàn)象。對于數(shù)字電路設(shè)計,即使沒有地線層,大多數(shù)數(shù)字電路功能也表現(xiàn)良好。而在RF頻段,即使一根很短的地線也會如電感器一樣作用。

粗略地計算,每毫米長度的電感量約為l nH,433 MHz時10 toni PCB線路的感抗約27Ω。如果不采用地線層,大多數(shù)地線將會較長,電路將無法具有設(shè)計的特性。

射頻激光管不出光?
在水路通暢激光電源正常啟動的情況下首先測激光電源直流48v是否正常;激光管25針插件的 4腳和13腳的導(dǎo)通情況能導(dǎo)通表明水保護信號正常,不能導(dǎo)通檢查水保護;測7腳和20腳的電壓情況不按預(yù)調(diào)或者開始時直流電壓在4到5V左右,按預(yù)調(diào)或開始在1到3v左右為正常信號(低電平導(dǎo)通)。若水、電源和這兩個信號都正常一般可以判斷是激光管故障。若信號不正常則說明是板卡問題或者是電路問題。

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1、半導(dǎo)體制造、LED光電材料、太陽能、平板顯示、汽車電子等行業(yè)的離子注入、擴散、光刻、PVD物理氣相沉積,CVD 化學(xué)氣相沉積,PECVD等離子增強化學(xué)氣象沉積,濺射薄膜、蝕刻 等工藝。
 

2、 HV PSU高壓電源、DC PSU大功率直流電源、RF Generator射頻電源、MICROWAVE POWER SOURCEAE微波發(fā)生器、觸摸屏人機界面、PCB板,涉及設(shè)備品牌有AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、DAIHEN、SEREN、Glassman、 


      Spellman、LAMBDA、SORENSEN、Delta、AMAT、Nikon、Varian、Lam、Nissin、ASML等。


3、維修機臺涉及Lam9400、Lam9100、Varian E500,、Varian E200、AMAT PI9500、PI9200、XR80,  Nissin 

       Exceed2000AH、Axcelis/EATON NV6200、PVD、CVD、PECVD、濺射鍍膜設(shè)備等



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